EUV Lithography (Hardcover)
暫譯: EUV 光刻技術 (精裝版)
Vivek Bakshi
- 出版商: Wiley
- 出版日期: 2008-12-01
- 售價: $5,110
- 貴賓價: 9.5 折 $4,855
- 語言: 英文
- 頁數: 702
- 裝訂: Hardcover
- ISBN: 0470471557
- ISBN-13: 9780470471555
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商品描述
EUVL is an area of intense research and this book provides the foundation required for understanding and applying this technology. It offers contributions from the world's leading EUVL researchers, and provides all the critical information needed by practitioners and those wanting to enter the field.
商品描述(中文翻譯)
EUVL 是一個密集研究的領域，本書提供了理解和應用這項技術所需的基礎。它匯集了全球領先的 EUVL 研究者的貢獻，並提供了從業者和希望進入該領域的人所需的所有關鍵資訊。
