超精密加工技術
高道鋼
- 出版商: 全華圖書
- 出版日期: 2000-06-30
- 定價: $250
- 售價: 9.0 折 $225
- 語言: 繁體中文
- ISBN: 9572129333
- ISBN-13: 9789572129333
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相關分類:
奈米科技 Nano、Engineer self-growth、工程數學 Engineering-mathematics
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商品描述
■ 內容簡介 「超精密加工」是為了追求更精密的精度,在新製品中以特定元件的專用工作機械,來集合技術精華而開發出來的。本書內容涵蓋現今所有高科技領域,包含超精密加工機械、切削、研磨、拋光、微影成像、蝕刻技術及高精密透鏡等。為目前政府推動高科技尖端工業不可或缺的工具書。本書適合機械科系之大專院校、研究所及相關產業之從業人員使用。 ■ 目錄 ch01 超精密加工的必要性 1-1 前言 1-2 奈米技術 1-3 超精密加工的用途 1-4 超精密工法 ch02 超精密加工機械 2-1 前言 2-2 超精密加工之設計 2-3 迴轉要素 2-4 直線運動要素 2-5 定位控制 2-6 機體構造 2-7 環境 ch03 超精密切削 3-1前言 3-2 超精密切削面的形狀 3-3 切削工具 3-4 利用單精鑽石 3-5 鐵系材料切削 3-6 超精密鑽石切削的應用例 3-7 大輸出CO2雷射用反射透鏡 3-8 具微細溝槽的柵狀透鏡 3-9 結語 ch04 超精密研磨 4-1 特殊半導體基板的高精度研磨法 4-2 精密陶瓷之鏡面研磨 ch05 超精密拋光 5-1 前言 5-2 拋光加工的力學作用 5-3 拋光加工的化學作用 5-4 乾式超精密拋光 5-5 結語 ch06 微影成像及蝕刻 6-1 微影成像 6-2 蝕刻技術 ch07 高精度塑膠透鏡 7-1 前言 7-2 高精度塑膠製品的現狀 7-3 高精度塑膠透鏡的要素技術 7-4 高精度塑膠透鏡的品質管制 7-5 高精度塑膠透鏡的未來展望 |