認識微機電
楊龍杰
- 出版商: CS滄海
- 出版日期: 2001-08-31
- 定價: $600
- 售價: 9.8 折 $588
- 語言: 繁體中文
- 頁數: 541
- ISBN: 957207931X
- ISBN-13: 9789572079317
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商品描述
1.本書累積近年來台灣本土化微機電技術之發展經驗，詳述矽質微細加工技術，與微型感測器之設計製作工藝，連帶提及最新微機電產品趨勢與策略建議。
2.本書與一般科技譯作最大的差異，在於專心介紹具台灣本土發展可行性的微機電技術，故對國內有意從事微機電研發的人士，富實用之效。
3.書中部分討論較深入的課題，係直接採自學術期刊或會議論文集，則可供研究生進一步思索、延伸。
作者簡介
楊龍杰
* 台灣彰化人
* 國立台灣大學應用力學所工學博士
* 現職淡江大學機械工程學系助理教授
* 專長微機電系統技術
* 公餘從事福音傳揚
目錄大綱
第1章 小小世界真奇妙
第2章 半導體製程
第3章 半導體微細加工
第4章 微感測器產品技術
第5章 以金氧半IC製程及後加工程序製作微機電元件
第6章 X光深刻模造微加工技術
第7章 微光機電系統產品技術窺覽
第8章 應用於微冷卻器之微小尺寸熱流技術
第9章 我國新世紀的微機電系統技術與產業展望
